Багаж нь машин механизмыг боловсруулахад чухал хэсгүүдийн нэг юм.Шинжлэх ухаан, технологи хөгжихийн хэрээр уг багаж нь анхны хайлшнаас бүрдсэн багаж хэрэгсэл болж өөрчлөгдсөн.Цементжүүлсэн карбид болон өндөр хурдны ган багажийг дахин нунтаглах, дахин бүрэх нь одоогийн байдлаар нийтлэг үйл явц юм.Хэдийгээр багажийг дахин нунтаглах эсвэл дахин бүрэх үнэ нь шинэ багаж хэрэгслийн үйлдвэрлэлийн зардлын өчүүхэн хэсэг боловч энэ нь багажийн ашиглалтын хугацааг уртасгаж, үйлдвэрлэлийн зардлыг бууруулж чадна.Дахин нунтаглах үйл явц нь тусгай багаж хэрэгсэл эсвэл үнэтэй багаж хэрэгслийг боловсруулах ердийн арга юм.Дахин нунтаглах эсвэл дахин бүрэх боломжтой багаж хэрэгсэлд өрмийн хошуу, тээрэмдэх таслагч, хавтан, хэлбэржүүлэгч багаж орно.
Багажийг дахин нунтаглах
Өрөмдлөг эсвэл тээрэмдэх таслагчийг дахин нунтаглах явцад анхны бүрээсийг арилгахын тулд зүсэх ирмэгийг нунтаглах шаардлагатай байдаг тул ашигласан нунтаглах дугуй нь хангалттай хатуулагтай байх ёстой.Зүссэн ирмэгийг дахин нунтаглах замаар урьдчилан боловсруулах нь маш чухал юм.Энэ нь багажийг дахин нунтагласны дараа анхны зүсэгч ирмэгийн геометрийн хэлбэрийг бүрэн, үнэн зөв хадгалж үлдэхийг баталгаажуулахаас гадна PVD бүрсэн багажийг дахин нунтаглахад "аюулгүй" байхыг шаарддаг.Тиймээс үндэслэлгүй нунтаглах процессоос зайлсхийх шаардлагатай (өндөр температурын улмаас багажийн гадаргуу гэмтсэн барзгар нунтаглах эсвэл хуурай нунтаглах гэх мэт).
Бүрхүүлийг арилгах
Багажийг дахин бүрэхээс өмнө бүх анхны бүрхүүлийг химийн аргаар арилгаж болно.Химийн аргаар зайлуулах аргыг ихэвчлэн нарийн төвөгтэй багаж хэрэгсэл (плитка, энгэрийн хавтан гэх мэт), эсвэл олон дахин бүрэх хэрэгсэл, бүрэх зузаанаас үүдэлтэй асуудалтай багаж хэрэгсэлд ашигладаг.Бүрхүүлийг химийн аргаар зайлуулах арга нь ихэвчлэн өндөр хурдны ган багажаар хязгаарлагддаг, учир нь энэ арга нь цементжүүлсэн карбидын субстратыг гэмтээдэг: бүрхүүлийг химийн аргаар зайлуулах арга нь цементжүүлсэн карбидын субстратаас кобальтыг шүүж, гадаргуугийн сүвэрхэг байдлыг үүсгэдэг. субстрат, нүх сүв үүсэх, дахин бүрэх хүндрэл.
"Химийн аргаар зайлуулах аргыг өндөр хурдтай ган дээр хатуу бүрээсийг зэврэлтээс арилгахад илүүд үздэг."Цементжүүлсэн карбидын матриц нь бүрэхтэй төстэй химийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг агуулдаг тул химийн бодисыг зайлуулах уусгагч нь өндөр хурдны ган матрицаас илүү цементжүүлсэн карбидын матрицыг гэмтээдэг.
Үүнээс гадна PVD бүрээсийг арилгахад тохиромжтой зарим патентлагдсан химийн аргууд байдаг.Эдгээр химийн аргуудын хувьд бүрхүүлийг арилгах уусмал ба цементжүүлсэн карбидын матрицын хооронд бага зэрэг химийн урвал явагддаг боловч эдгээр аргуудыг одоогоор өргөнөөр ашиглаагүй байна.Үүнээс гадна, лазер боловсруулах, зүлгүүрийн тэсэлгээ гэх мэт бүрхүүлийг цэвэрлэх өөр аргууд байдаг. Химийн аргаар зайлуулах арга нь хамгийн түгээмэл арга юм, учир нь энэ нь гадаргуугийн бүрээсийг арилгахад сайн жигд байдлыг хангаж чаддаг.
Одоогийн байдлаар ердийн дахин бүрэх процесс нь дахин нунтаглах процессоор багажны анхны бүрхүүлийг арилгах явдал юм.
Дахин бүрэх эдийн засаг
Хамгийн түгээмэл хэрэглүүрийн бүрээс нь TiN, TiC, TiAlN юм.Бусад хэт хатуу азот/карбидын бүрээсийг мөн ашигласан боловч тийм ч түгээмэл биш юм.PVD алмаазан бүрсэн багажийг дахин нунтаглаж, дахин бүрэх боломжтой.Дахин бүрэх явцад эгзэгтэй гадаргууг гэмтээхгүйн тулд багажийг "хамгаалах" ёстой.
Энэ нь ихэвчлэн тохиолддог: хэрэглэгчид бүрээгүй багаж худалдаж авсны дараа дахин нунтаглах шаардлагатай үед бүрэх, эсвэл шинэ хэрэгсэл эсвэл дахин нунтаглах хэрэгсэлд өөр бүрээс түрхэж болно.
Дахин бүрэх хязгаарлалт
Багажийг олон удаа дахин нунтаглаж болдог шиг багажны зүсэгчийг олон удаа бүрж болно.Багажны гүйцэтгэлийг сайжруулах гол зүйл бол дахин нунтагласан багажийн гадаргуу дээр сайн наалддаг бүрээсийг авах явдал юм.
Зүсэх ирмэгээс бусад тохиолдолд багажийн төрөл болон боловсруулалтад ашигласан зүсэх параметрүүдээс хамааран багажийг нунтаглах бүрт багажийн гадаргуугийн үлдсэн хэсгийг бүрэх, дахин бүрэх шаардлагагүй байж болно.Дахин бүрэх үед бүх анхны бүрээсийг арилгах шаардлагатай багаж хэрэгсэл, хавтан ба энгэрийн хэрэгсэл юм, эс тэгвээс багажийн гүйцэтгэл буурах болно.Стрессээс үүдэлтэй наалдац үүсэхээс өмнө хуучин бүрээсийг арилгахгүйгээр багажийг хэд хэдэн удаа дахин будаж болно.Хэдийгээр PVD бүрээс нь металл зүсэхэд ашигтай үлдэгдэл шахалтын стресстэй боловч бүрэх зузаан нэмэгдэхийн хэрээр энэ даралт нэмэгдэж, тогтоосон хязгаараас хэтэрсэний дараа бүрэх давхарга задарч эхэлнэ.Хуучин бүрээсийг арилгахгүйгээр дахин бүрэх үед багажийн гаднах диаметр дээр зузаан нэмнэ.Өрмийн хошууны хувьд энэ нь нүхний диаметр томрох болно гэсэн үг юм.Тиймээс багажийн гаднах диаметрийн нэмэлт зузаанын нөлөөлөл, түүнчлэн боловсруулсан нүхний диаметрийн хэмжээст хүлцэлд үзүүлэх нөлөөллийг харгалзан үзэх шаардлагатай.
Өрөмдлөгийн хошууг хуучин бүрээсийг арилгахгүйгээр 5-10 удаа бүрэх боломжтой боловч дараа нь алдааны ноцтой асуудалтай тулгарах болно.Spec Tools-ийн дэд ерөнхийлөгч Деннис Клейн ± 1 μ м-ийн алдааны хязгаарт бүрхүүлийн зузаан нь асуудал үүсгэхгүй гэж үзсэн;Гэсэн хэдий ч алдаа нь 0.5 ~ 0.1 мкм-ийн хүрээнд байвал бүрэх зузаанын нөлөөллийг харгалзан үзэх шаардлагатай.Бүрхүүлийн зузаан нь асуудал үүсгэхгүй л бол дахин бүрсэн болон дахин нунтагласан багаж нь анхныхаас илүү сайн гүйцэтгэлтэй байж болно.
Шуудангийн цаг: 2023 оны 2-р сарын 24-ний хооронд